28nm以上制程的成熟芯片有望實現(xiàn)全流程國產(chǎn)化了!

28nm雖然不是特別先進技術(shù)，但意義依然重大，因為這是芯片中低端和中高端的分界線，目前除了最先進的CPU、GPU、AI芯片外，其余的工業(yè)級芯片大多都是28nm以上技術(shù)。

9月9日，工業(yè)和信息化部印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導目錄(2024年版)》的通知：

工作原理：深紫外光刻技術(shù)的革新

氟化氪光刻機與氟化氬光刻機都屬于深紫外(DUV)光刻機的范疇，它們的工作原理基于利用特定波長的光源通過光學系統(tǒng)和投影物鏡，將集成電路的微觀圖案精確地投影到硅片上的光刻膠層。這兩種光刻機的主要區(qū)別在于它們使用的光源波長：

氟化氪光刻機：采用248nm波長的光源，能夠?qū)崿F(xiàn)110納米以下的分辨率，適用于多種集成電路制造工藝。

氟化氬光刻機：使用193nm波長的光源，提供更高的分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)65納米以下的制程技術(shù)，為更精細的電路制造提供了可能。

技術(shù)意義：產(chǎn)業(yè)升級與自主可控

這兩種光刻機的出現(xiàn)，不僅是技術(shù)上的一次飛躍，更是產(chǎn)業(yè)自主化的重要里程碑：

技術(shù)突破：氟化氪與氟化氬光刻機的成功研發(fā)，標志著我國在高端光刻技術(shù)領(lǐng)域取得了顯著進展，為半導體制造提供了強有力的技術(shù)支持。

產(chǎn)業(yè)升級：高精度光刻機的引入，使得國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)能夠制造更復雜、更高性能的集成電路，推動了整個產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)升級和產(chǎn)品創(chuàng)新。

經(jīng)濟效益與國家安全：通過減少對外部技術(shù)的依賴，這些光刻機有助于提升國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的自給自足能力，增強經(jīng)濟和產(chǎn)業(yè)的安全性。

冷水機控溫：確保光刻機穩(wěn)定運行的關(guān)鍵

在光刻機的運行過程中，精確的溫度控制對于保證光刻質(zhì)量和產(chǎn)量至關(guān)重要。冷水機作為冷卻系統(tǒng)的核心組件，其作用不容小覷：

控溫需求：光刻機在曝光過程中對溫度極為敏感，因此需要冷水機提供高精度的溫度控制，以維持光刻機的穩(wěn)定性和重復性。

冷水機的作用：通過循環(huán)冷卻水，冷水機能夠有效地帶走光刻機在運行中產(chǎn)生的熱量，確保設(shè)備在適宜的溫度范圍內(nèi)工作，從而保障光刻過程的精確性和可靠性。

特域冷水機可為光刻機提供專業(yè)冷卻支持

特域冷水機超快激光冷水機CWUP系列，可以光刻機提供精密穩(wěn)定持續(xù)控溫，其中CWUP-20ANP溫控精度達到±0.08℃，為精密加工領(lǐng)域提供高效的冷卻解決方案。

在半導體制造的精密世界里，光刻機是實現(xiàn)微細電路圖案轉(zhuǎn)移的核心設(shè)備。隨著技術(shù)的進步，氟化氪光刻機與氟化氬光刻機以其卓越的性能，成為了推動行業(yè)發(fā)展的重要力量。

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